臭氧是一种强氧化剂，灭菌过程属生物化学9氧化反应。臭氧灭菌有以下3种形式︰

1.臭氧能氧化分解细菌内部降解葡萄糖所需的酶，致使TCA循环无法进行，从而导致细胞生命活动所需的ATP无法供应，使细菌灭活死亡。

⒉.直接与细菌、病毒作用，破坏它们的细胞器和DNA、RNA，使细菌的新陈代谢受到破坏，导致细菌死亡。

3.透过细胞膜组织，侵入细胞内，作用于外膜的脂蛋白和内部的脂多糖，使细菌发生通透性畸变而溶解死亡。

臭氧杀菌特点：

1.高效性。臭氧消毒灭菌是以空气为媒介，不需要其他任何辅助材料和添加剂。所体包容性好，灭菌彻底，同时还有很强的除霉、腥、臭等异味的功能。

2.高洁净性。臭氧快速分解为氧的特征，是臭氧作为消毒灭菌的独特优点。臭氧是利用空气中的氧气产生的，消毒过程中，多余的氧在30分钟后又结合成氧分子，不存在任何残留物，解决了消毒剂消毒方法产生的二次污染问题，同时省去了消毒结束后的再次清洁。

3.方便性。臭氧灭菌器一般安装在洁净室或者空气净化系统中或灭菌室内（如臭氧灭菌柜，传递窗等）。根据调试验证的灭菌浓度及时间，设置灭菌器的按时间开启及运行时间，操作使用方便。

4.经济性。通过臭氧消毒灭菌在诸多制药行业及医疗卫生单位的使用及运行比较，臭氧消毒方法与其他方法相比具有很大的经济效益及社会效益。在当今工业快速发展中，环保问题特别重要，而臭氧消毒却避免了其他消毒方法产生的二次污染。

臭氧消毒技术已广泛用于水处理、空气净化、食品加工、医疗、医药、水产养殖等领域  。

1.杀菌。可以迅速而彻底地消除空气中、水中的病毒及细菌。据学术单位实验报告指出：水中臭氧浓度在0.05ppm时，经处理十至十几分钟，细菌灭活率在99%以上。

2.解毒。由于工商业的发展与高度物质文明享受，在生活中到处充满各种对人体有害的物质：例如：一氧化碳、农药、重金属、化肥、有机物、臭味、色素等等，经臭氧处理后，都会分解成对人体无害的安全物质。

3.保鲜。美、日及欧洲先进国家，已大量将臭氧应用在各种食品的储存上，可以 延长食品的贮藏期及降低腐坏率，以降低损失、提高利润。

4.漂白。因臭氧有很强的氧化作用，所以本身就是很强的漂白剂，可应用于洗衣、食品、废水处理。

5.除臭。因臭氧有很强的氧化分解能力，可迅速而彻底地消除空气中、水中的各种异味。