深圳市天铉真空技术有限公司HORIBA 流量计液体流量计 LF-F50M-A,10g min,2CR,TEOS

型号LF-F20M-ALF-F30M-ALF-F40M-ALF-F50M-ALF-F60M-A全标度流量(g/min)0.02/0.05/0.10.2/0.51/2/510/2050/100检测控制范围5?100% F.S.对象液体种类 *1可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。液体粘度 *2值. 0.1 Pa·s (100cp)精度 *3±1% F.S.直线性 *3±0.5% F.S.重复性 *3±0.5% F.S.响应精度3秒以内 (T98)2秒以内 (T98)使用环境温度 *45?50℃ (15 ? 45℃精度的确保)温度影響 Span±0.1%F.S./℃ 值±1%工作差压值值 *5值. 5MPa (视为流量计) / 50?300kPa (with piezo 控制阀)耐压10MPa (视为流量计)压力損失值. 500Pa流量设定信号模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式：RS485(F-Net通信协议)流量输出信号模拟：0?5 VDC(负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)驱动电源+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA外部泄漏规格5×10-12Pa·m3/s (He)接液部材质SUS316L, Ni标准接头1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型名称质量流量控制器型号LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)全标度流量(g/min)0.02/0.05/0.10.2/0.51/2/510/2050/100检测控制范围5?100% F.S.对象液体种类 *1可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。液体粘度 *2值. 0.01 Pa·s (10cp)精度 *3±1% F.S.直线性 *3±0.5% F.S.重复性 *3±0.5% F.S.响应精度3秒以内 (T98)2秒以内 (T98)使用环境温度 *45?50℃ (15 ? 45℃精度的确保)温度影响Span±0.1%F.S./℃ 值±1%工作差压值 *50.05?0.3MPa耐压1MPa压力损失ー流量设定信号模拟：0.25?5 VDC(输入阻抗1MΩ以上) 数字式：RS485(F-Net通信协议)流量输出信号模拟：0?5 VDC(负荷电阻2kΩ) 数字式：RS485(F-Net通信协议)驱动电源+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA外部泄漏规格PO 类型：1×10-8Pa•m3/s (He) MO 类型： 5×10-12Pa•m3/s (He)接液部材质PO 类型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 类型： SUS316L，Ni标准接头1/16” ， 1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型1/8” SWL类型， 1/8” VCR 类型1/4” SWL类型 1/4” VCR 类型*1： LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正 (请预先所使用 的液体。)

?不能检测含有固体物的液体。

?如果混合液中混合比会发生变化时，请预先进行咨询协商。

?LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时，请在端(入口端) 安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。

*2： LF-F类型质量流量控制器根据流量量程，可以适用到 值， 0.1Pa•s。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。

*3： 以SEMI E56-1296 为准。

*4： 进行测量?控制的液体温度如果低于环境温度时，使用时请把温差控制在10℃以 内；如果高于液体温度时，使用时请把温差控制在3℃以内。

*5：这是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。