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日本OSAKA大阪磁悬浮涡轮分子泵
来自上海盈炽商贸有限公司
¥80000.00
发布时间  2020-05-28 09:00:50 关注次数  1377
上海盈炽商贸有限公司
家家通 5年
图文介绍 产品参数 供应商信息

产品特点:

将电源控制器与分子泵一体化
 ■省电设计
 ■轻巧设计
 ■对应防护等级IP54
 ■多种通信接口
 ■对应国际规格   CE/NRTL/SEMI-S2

使用场合:

・半导体制造设备

・FPD制造设备

・太阳能电池制造设备

・玻璃/镜片等光学元件加工

・薄膜加工

・加速器/宇宙环境模拟设备


技术参数:

型号※1 TGkine1700M TGkine2200M
吸气口法兰 ISO-B200
VG200
ISO-B250
VG250
排气口法兰※2 KF40/KF50
排气速度 N2 (L/s) 1650 2200
N2
(附加金属保护网)(L/s)
1570 2100
H2 (L/s) 1550 1800
最大气体流量※3、※4 N2 (sccm) 4400 5000
Ar (sccm) 2600
最大压缩比 N2 >2×108
H2 3×103
极限压力※5 (Pa) <2×10-7
(Torr) <1.5×10-9
最大排气口压力※6 (Pa) 220
(Torr) 1.65
启动时间 (min) ≦10
停止时间 (min) ≦10
输入电压  (V) AC200-240V
 相数 単相
 频率 (Hz) 50/60
 电流  (A) Max. 5.3
 所需电力 (kVA) Max. 0.9
重量 (kg) 65 62



品牌其他
型号TGkine1700M,TGkine2200M
输送介质其他
驱动方式电动泵
介质温度类型常温泵
材质不锈钢
最大出口压力类型其他
叶片式泵叶轮级数其他
叶片式泵吸入方式其他
叶片式泵叶轮形式其他
叶片式泵壳体型式其他
叶片式泵泵轴位置其他
结构类型离心式
颜色白色 其他
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主营业务
真空泵、真空计、涡轮分子泵、罗茨真空泵、氦质谱检漏仪、质谱仪
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