设备名称OTFC-1550CBI/DBI
真空室SUS304, φ1550mm
工件架φ 1550mm
工件架转速10 rpm to 30 rpm (可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪波长范围:350nm to1100nm反射式/透射式可选
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源10cm RF 离子源
排气系统机械泵+1个扩散泵+Polycold(或1个冷凝泵)
性能
达到压力7.0 × 10-5 Pa 以下
排气时间15 分 (大气压 1.3×10-3 Pa)
基板温度:350℃
工作条件
设备尺寸4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
电源3相,200v,50/60Hz, 约80KVA
水流量180升/分以上
空气压力0.5MPa 以上
重量约5400kg
销售技术 杨经理 18103045976 13723521401
销售设备清单 |
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序号 |
设备名称 |
规格型号 |
品牌 |
1 |
双面抛光机 |
6B/9B/9.6B/13B/15B/16B/18B/20B/21B/28B/30B/40B |
日本滨井/创技/瑞德/宇环/宇晶/劳尔品牌 |
2 |
真空蒸发镀膜机 |
LP1650/1800/2350/1104 |
光弛/龙翩/新科隆/莱宝/联合 |
3 |
自动移载机 |
PH802 |
|
4 |
自动移载机 |
PH802 |
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5 |
8寸贴膜机 |
UTAS208A |
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6 |
下摆机 |
|
光进/时代 |
7 |
推拉机 |
|
永田 |
8 |
铣磨机 |
|
勇益 |
9 |
仿形机 |
120/150/170/200/250 |
中航 |
10 |
异形开料机 |
1240 |
精一 |
11 |
金相显微镜 |
XJX-6 |
奥林巴斯 |
12 |
金相显微镜 |
MA-2002 |
奥林巴斯 |
13 |
干涉仪 |
100 |
ZYGO |
14 |
奥林巴斯体视显微镜 |
SZ51 |
|
15 |
紫外分光光度计 |
1700/1750/1800/2401/2450/2550 |
日本岛津 |
16 |
光谱仪 |
4100 |
日本日立 |
17 |
红外光度计 |
21 |
傅利叶 |
18 |
超声波洗净机 |
|
科伟达/三和 |
19 |
二次元影像测量仪 |
|
2010/3020/4030 |
20 |
全自动脱泡机 |
1200/1350/1550 |
鑫力/诺峰/深科达 |
- 公司类型私营独资企业
- 经营模式生产加工-私营独资企业
- 联系人杨肖梅
- 联系手机13723521401
- 联系固话0769-23105805
- 公司地址东莞市茶山镇黄岭路62号
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