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YS-100真空等离子清洗机
来自：西安研硕仪器设备有限公司
99999.00人民币
发布时间：2023-4-26
关注次数：271
产品参数
商品详情
【适用范围】：真空等离子清洗机，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，清洗产品表面污染物，提高表面活性，增强附着性能。等离子清洗是一种新型的、环保、高效、稳定的表面处理方式。
【产品详情】：
手机行业：TP、中框、后盖表面清洗活化
PCB/FPC行业：孔内钻污及表面清洁、Coverlay表面粗化及清洁
半导体行业：半导体封装、摄像头模组、LED封装、BGA封装、Wire Bond前处理
陶瓷：封装、点胶前处理
表面粗化蚀刻：PI表面粗化、PPS蚀刻、半导体硅片PN结去除、ITO膜蚀刻
塑胶材料：Teflon特氟龙表面活化、ABS表面活化、以及其他塑料材质清洗活化
ITO涂覆前表面清洗
产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品
产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品
水平电极设计，可满足软性产品处理需求。
低耗能、耗气产品。
便捷的收放板方式
真空系统集成，占地面积小
合理的等离子反应空间，使处理更均匀
集成的控制系统设计，使操作更方便
【技术规格】：
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电源系统 |
射频电源 |
中频电源 |
|
|
功率 |
0~600W |
0~2000W |
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|
频率 |
13.56MHz |
40KHz |
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|
真空系统
|
双级旋片泵（油泵） |
60m3/h |
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真空管路 |
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
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材质 |
铝合金（可定制不锈钢腔体） |
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厚度 |
25mm |
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密封性 |
军工级焊接密封 |
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腔体内部尺寸 |
450×450×500mm（宽×高×深） |
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电极板有效尺寸 |
420×411mm（宽×深） |
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|
可用空间间距 |
22.5mm |
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电极板布置方式 |
水平布置，可活动抽取 |
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工作托盘 |
标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） |
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工作空间 |
8层 |
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气体系统 |
流量范围 |
0~300SCCM |
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|
工艺气体气路 |
标配两路，可定制 |
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控制系统 |
系统控制 |
PLC |
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交付方式 |
7寸触控屏幕 |
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其它参数 |
外形尺寸 |
900×1750×1000mm（宽×高×深） |
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重量 |
200KG |
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设备外观颜色 |
银灰色 |
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厂务规格要求
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厂务规格要求 |
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|
交流电源规格 |
电源：AC380V，50/60Hz，5线，50A |
|
厂务排气 |
流量：2.0 m³/min |
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厂务工作气体要求 |
流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：6×4 mm 材质：PU管 纯度：99.99%以上 |
|
厂务压缩空气要求 |
流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm² 管径：8×5 mm 材质：PU管 露点：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft³ |
一般规格
|
一般规格 |
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|
危险标识 |
高压危险标识 |
|
使用环境 |
温度：15~30℃ 湿度：30~70% |
|
其他注意事项 |
不可有可燃性气体，腐蚀性气体，爆炸或反应性粉尘 气瓶需固定 |
配置清单
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配置清单 |
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序号 |
名称 |
描述说明 |
单位 |
数量 |
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|
1 |
主机 |
外形尺寸：900×1750×1000mm（宽×高×深） |
台 |
1 |
|
|
2 |
真空腔体 |
铝合金真空腔体 内尺寸450×450×500mm（宽×高×深） |
个 |
1 |
|
|
3 |
激励电源 |
射频电源 |
中频电源 |
套 |
1 |
|
频率：13.56MHz； 功率0~600W 或0~1000W可选； 全自动真空电容匹配器 |
频率：40KHz； 0~1000W;
|
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|
4 |
PLC |
德国西门子，S7-200 |
个 |
1 |
|
|
5 |
触摸屏 |
威纶通，七寸屏幕，MT6071iE |
个 |
1 |
|
|
6 |
流量计 |
英国wawick品牌 |
个 |
2 |
|
|
7 |
真空泵组 |
飞越双级旋片泵（油泵）：60m3/h |
台 |
1 |
|
|
8 |
真空计 |
英福康 |
个 |
1 |
|
|
9 |
说明书 |
真空等离子清洗机WBE-100操作说明书 |
份 |
1 |
|
维护保养
|
维护保养 |
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|
项目 |
检查内容 |
寿命 |
检查频率 |
|
油泵 |
滤芯 |
使用时间2000H |
15天 |
|
泵油 |
使用时间2000H |
15天 |
|
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