plasma等离子清洗机寒武纪手机制造技术
设备简介:CPT真空式等离子处理设备可选择搭配中频或射频电源,全自动控制运行系统,工艺过程参数可监测控制。广泛应用于各大行业加工制造过程中基材表面的预处理,提升基材表面的粘接力、增加表面活性和表面微量有机物的去除等,以满足后续工艺的功能要求和提升产品制造良率及质量。
应用领域:适用半导体、汽车制造、新能源、医疗器械、3C产品、电子线路板、印染纺织、印刷打印、军工等广泛领域。
设备工作原理:当chamber内部之压力低到某一程度(约10-1 torr左右)时, 气态正离子开始往负电极移动, 由于受电场作用会加速撞击负电极板, 产生电极板表面原子, 杂质分子和离子以及二次电子(e-)…等, 此e-又会受电场作用往正电极方向移动, 于移动过程会撞击chamber内之气体分子(ex. : Ar原子…等), 产生Ar+等气态正离子, 此Ar+再受电场的作用去撞击负电极板, 又再产生表面原子以及二次电子(e-)…等, 如此周而复始之作用即为Plasma产生的原理.
工作原理:真空等离子清洗机利用两个电极形成电磁场,使用真空泵工作实现有效的真空度,随气体越来越稀薄,分子之间的间距及分子或离子的自由运动的距离也越来越长,受磁场作用发生碰撞而形成等离子体并产生辉光,等离子体在电磁场内的空间运动,不断轰击物体表面,去除表面有机污染物或其它杂质,从而达到表面处理清洗,活化,刻蚀的效果。
适用产品形状复杂、处理面较大,可选择两路或多路工艺气体,适用各种不同材质材料,匹配高密度等离子源,确保产品360度均匀清洗活化,UPH较高,且是环保工艺方式。
阅读:21
相关推荐
更多>>
-
昌邑区退役军人事务局组织开展普法宣传系列活动
昌邑区退役军人事务局组织开展普法宣传系列活动 日期:2024-06-07 来源:昌邑区 字号:[ 详情] - 2024年福州市晋安区中小学校近视防控教室照明改造项目竞争性谈判公告 6-9
- 福建经发-竞争性磋商-2024-jf112-监控ups及消控室大屏-采购公告 6-9
- 恩平工业园职教园区教育装备采购项目-教学电脑、触控一体机及led屏招标公告 6-9
- 海南:向海图强力争再造一个“海上海南” 6-9
- 沙雅县玉米烘干加工厂建设项目竞争性磋商公告 6-9
图片资讯
更多>>