商家供应
图文介绍
产品参数
供应商信息
可完全代替进口炉体,--加热炉丝,进口保温材料,采用国外先进加工工艺,炉体可长期使用在高温下,处理12英寸以下硅片,工作温度2000℃-1286℃。
设备特点:
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
工艺中可强制跳到下一工艺步运行功能
自动运行中可暂停/继续运行功能
可存储多组PID参数供系统运行调用功能
PID参数自整定功能
工艺气体的程序控制功能
关键部件全部具有高可靠性
具有良好的人机界面
系统故障自诊功能
停电后断点继续运行功能等等
具有历史记录功能
具有多点温度补偿
技术指标:
可配置工艺管外径2~8英寸
可配置工艺管数量:1~4管/台
工作温度范围:400~1300℃
恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
单点温度稳定性:800~1300℃±0.5℃/24h
大可控升温速率:15℃/min
大降温速率:5℃/min
设备特点:
可保存多条工艺曲线每条曲线可设置多步
工艺曲线的自动运行控制功能
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关键部件全部具有高可靠性
具有良好的人机界面
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技术指标:
可配置工艺管外径2~8英寸
可配置工艺管数量:1~4管/台
工作温度范围:400~1300℃
恒温区长度及精度:300~1250mm 800~1300℃±0.5℃
单点温度稳定性:800~1300℃±0.5℃/24h
大可控升温速率:15℃/min
大降温速率:5℃/min
品牌其他
型号定制
加工定制是
青岛福润德微电子设备有限公司
- 公司类型私营独资企业
- 经营模式生产加工-私营独资企业
- 联系人颜先生
- 联系手机13658669338
- 联系固话0532-68017154
- 公司地址青岛市城阳区北万工业园6号
主营业务
扩散炉.链式炉.隧道炉.马弗炉.炉体
青岛福润德微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的高新技术企业。目前的主要产品有两大类(一)半导体专用设备:太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、低压化学气相沉积设备,真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED专用合金炉、LED专用交换炉、高精度智能温度控制仪和替代进口的扩散炉炉体, 同时承接各种微电子生产线及进口半导体专用设备的翻新改造工作。
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