等离子体表面处理仪是一种小型化、超清洗设备。PDC系列等离子体表面处理仪采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。Harrick等离子体表面处理仪外接一台真空非破坏性的泵，工作时等离子体表面处理仪的清洗腔中的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面。这款等离子体表面处理仪短时间的清洗就可以使有机污染物被彻底地清洗掉，同时污染物被等离子体表面处理仪的真空泵抽走，HPC等离子体表面处理仪的清洗程度达到分子级。

Harrick等离子清洗机除了具有超清洗功能外，在特定条件下还可根据需要改变某些材料表面的性能：等离子体作用于材料表面，使表面分子的化学键发生重组，形成新的表面特性。HPC小型等离子体表面处理仪对某些有特殊用途的材料，在超清洗过程中等离子体表面处理仪的辉光放电不但加强了这些材料的粘附性、相容性和浸润性，并可消毒和杀菌。我们的等离子体表面处理仪广泛应用于光学、光电子学、电子学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、微观流体学等领域。

应用范围：

* 清洗电子元件、光学器件、激光器件、镀膜基片、芯片。

* 清洗光学镜片、电子显微镜片等多种镜片和载片。

* 移除光学元件、半导体元件等表面的光阻物质。

* 清洗ATR元件、各种形状的人工晶体、天然晶体和宝石。

* 清洗半导体元件、印刷线路板。

* 清洗生物芯片、微流控芯片。

* 清洗沉积凝胶的基片。

* 高分子材料表面修饰。

* 牙科材料、人造移植物、医疗器械的消毒和杀菌。

* 改善粘接光学元件、光纤、生物医学材料、宇航材料等所用胶水的粘和力。

我们的扩展型PDC-002等离子清洁机是一种更大的台式等离子仪器，广泛用于纳米级表面清洁和表面活化。

产品特点：

▪ 可调的RF功率设置（低，中，高三种档位）；

▪ 最大RF功率为18W；

▪ 配有3“直径x 6.5”长的Pyrex派瑞克斯玻璃腔体；

▪ 腔室带有观察窗的铰链门；

▪ 主动风扇冷却；

▪ 真空泵的集成开关；

▪ 1/8“ NPT计量阀，以定性控制气体流量和腔室压力；

▪ 1/8“ NPT三通阀，可快速从引入气体，排气和隔离腔室中切换出来；

▪ 重量：13磅；

▪ 尺寸：8.5”H x 10“ W x 8”D；

可选配项：

▪ 可选PlasmaFlo气体流量混合仪，可定量控制；

▪ 多达两种工艺气体并监控真空压力（真空计）；

▪ 可选石英腔体和样品盘；

▪ 兼容真空泵；

技术参数：